電學薄膜的種類

 電學薄膜
①半導體器件與集成電路中使用的導電材料與介質薄膜材料Al、Cr、 Pt、Au、多晶硅、硅化物、SiOj、Si3N4、A12Q3等的薄膜。
②超導薄膜特別是近年來國內外普遍重視的高溫超導薄膜，例如 YBaCuO系稀土元素氧化物超導薄膜以及BiSiCaCuO系和TlBaCuO系非稀土 元素氧化物超導薄膜。
③光電子器件中使用的功能薄膜特別是近年來開發研究成功的GaAs/ GaAlAs、HgTe/CdTe. a-Si:H、a-SiGe:H、a-SiC:H、a-SiN： H, a-Si/a-SiC 等一 系列晶態與非晶態超晶格薄膜。
④薄膜敏感元件與固態傳感器例如SnO：薄膜可燃性氣體傳感器、ZiOj 薄膜氧敏傳感器、薄膜應變電阻與壓力傳感器、Pl、Ni等金屬薄膜與Co?Mn- Ni等氧化物薄膜及SiC薄膜的熱敏電阻和Si3N4、Ta205薄膜的離子敏傳感器 等o
⑤薄膜電阻、薄膜電容、薄膜阻容網絡與混合集成電路例如用Ni-Cr 系列低電阻率和Cr>SiO系列髙電阻率的金屬膜電阻；以滌綸薄膜或聚丙烯 薄膜為基材（介質），以鍍鋁膜或鍍鑄膜為電極制造的薄膜電容等。
⑥薄膜太陽能電池特別是非晶硅、CuInSe2和CdSe薄膜太陽電池。
⑦平板顯示器件液晶顯示、等離子體顯示和電致發光顯示三大類平板 顯示器件所用的透明導電電極（氧化銦錫薄膜)。特別是薄膜電致發光屏是 一種多層功能薄膜（包括氧化銦錫透明導電膜，Y203、Ta205等介質膜，ZnS :Mn等發光膜，A1電極膜等）組成的全固態平板顯示器件。
⑧用ZnO、Ta205、A1N等薄膜制成的聲表面波濾波器。
⑨磁記錄薄膜與薄膜磁頭如用于高質量錄音和錄像的磁性材料薄膜錄 音帶與錄像帶；用于計算機數據儲存的CoCrTa、CoCrNi等的薄膜軟盤和硬 盤；用于垂直磁記錄中FeSiAl薄膜磁頭等。
⑩靜電復印鼓用的Se-Te、SeTeAs合金膜及非晶硅薄膜。